熱交換器、テフロン熱交換器、カーボン熱交換器、ポンプ、ホースポンプ、チューブポンプ、デミスター、スクラバー、硫酸希釈装置のカンセツ産業株式会社

循環型（チューブプレート型）熱交換器

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2002年 1月

シリコンウェハー製造

?超純水加熱用（温度　75℃）
?研磨液冷却（温度　15℃）

シリコンウェハー製造工程では従来超純水加熱用や研磨液冷却用熱交換器としてSUS又はチタン製を使用していたが高品質の要求に伴いウエハーの処理工程での金属イオン混入によるコンタミの問題を解決する為樹脂製熱交換器の採用が検討された。

?超純水用としてヨーロッパで実績があり又PFA、PTFE等のフッ素樹脂製よりコストも安かったカロール社PVDF製チューブプレート熱交換器が採用された。　　　　　
?研磨液冷却用として研磨処理後超純水で洗浄するので金属製熱交換器でもシビアな問題はないが安全を考慮しカロール社PE製チューブプレート熱交換器が採用され、順調に稼動中。