ホースポンプ
2005年 5月
研磨・洗浄材メーカー
研磨材リサイクル装置
半導体材料のシリコンウエハー研磨材をリサイクルするプラント内にスラリー液移送用ホースポンプを納入した。 移送液:プロピレングリコール+研磨材 型式:Bredel-15〜65 流量:100L/hr〜12000L/hr 吐出圧力:0.1〜0.5MPa 温度:常温 粘度:100〜20000cp
新規設備
納入台数計約30台となり順調に稼働中。