熱交換器、テフロン熱交換器、カーボン熱交換器、ポンプ、ホースポンプ、チューブポンプ、デミスター、スクラバー、硫酸希釈装置のカンセツ産業株式会社

シェルチューブ型テフロン製熱交換器

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2020年 10月

半導体製造会社

エッチング液

混酸液冷却
冷却温度　30℃

半導体材料の洗浄工程において、エッチングによる反応熱を冷却する用途で採用。
フッ酸がチューブを透過する可能性がある為、シェル材質はPVC素材を採用した。

問題無く使用している。