熱交換器、テフロン熱交換器、カーボン熱交換器、ポンプ、ホースポンプ、チューブポンプ、デミスター、スクラバー、硫酸希釈装置のカンセツ産業株式会社

循環型（チューブプレート型）熱交換器

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2016年 3月

半導体製造会社

研磨砥液

砥液冷却
プロセス液温度 20→18℃
サービス液温度 10→12℃

シリコンウェハの研磨工程において、研磨砥液による摩擦熱を供給前に温度を微調整する用途で採用。
コンタミネーション防止のため、樹脂素材を選定した。
またコストを抑える為、耐熱ポリエチレン素材を採用した。

摩耗もコンタミもなく、順調稼働中。