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循環型（チューブプレート型）熱交換器
実績紹介
循環型（チューブプレート型）熱交換器
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シリコンウエハー製造会社
洗浄液
硝弗酸液冷却
プロセス液温度：25℃→18℃
従来設備はプロセス液タンク内にテフロンチューブ製コイルを投入設置していたが、
スペースが大きい事とテフロンチューブへのプロセス液浸透により
冷却用チラーが腐食したトラブルがあり、
チューブプレート型熱交換器のコンパクト性と
フッ素樹脂中浸透性の小さいメリットがありPVDF製を採用した。
問題なく稼働中で他設備のリピートオーダーがあった。
