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オールテフロン製シールレス熱交換器
実績紹介
オールテフロン製シールレス熱交換器
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ウエハー洗浄用オゾン冷却器
オゾン水 22℃→15℃
冷却水 5℃→10℃
交換熱量 4200kcal/hr
半導体のオゾン洗浄装置にガラス製の冷却器使用していたが、割れのトラブルがありテフロンＳ／Ｔに変更。
割れもなく順調に稼働中。
オールテフロン製シールレス熱交換器
ウエハー洗浄用オゾン冷却器
オゾン水 22℃→15℃
冷却水 5℃→10℃
交換熱量 4200kcal/hr
半導体のオゾン洗浄装置にガラス製の冷却器使用していたが、割れのトラブルがありテフロンＳ／Ｔに変更。
割れもなく順調に稼働中。
