熱交換器、テフロン熱交換器、カーボン熱交換器、ポンプ、ホースポンプ、チューブポンプ、デミスター、スクラバー、硫酸希釈装置のカンセツ産業株式会社

投込み式（スーパーコイル型）テフロン製熱交換器

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2016年 9月

半導体製造会社

エッチング液

酸系液加熱
加熱温度　90℃

シリコンウェハの洗浄工程において、酸系薬液の加熱用途で採用。
チューブが編み組みされており、液との接触効率を上げることにより、
伝熱係数を高め、タンクサイズをコンパクトに設計する事が出来た。

問題無く使用している。