熱交換器、テフロン熱交換器、カーボン熱交換器、ポンプ、ホースポンプ、チューブポンプ、デミスター、スクラバー、硫酸希釈装置のカンセツ産業株式会社

オールテフロン製シールレス熱交換器

この製品の詳細をご覧になりたい方はこちらをクリックしてください。

2018年 4月

半導体製造会社

エッチング液(塩化第二鉄、塩酸)

砥液冷却
プロセス液温度 26→25℃
サービス液温度 16→17℃

基板エッチング液の供給前冷却にて採用。
極省スペースにて設置したい要望があったが、他社製の従来のテフロン製熱交換器では
管板部のシール部がフランジである為、許容スペースに収まらなかった。
これに対してシールレス型の機種を選定したことで許容スペース内に収まった。
また樹脂クリップを採用して取外しも簡単に行えるようにした。

順調稼働中。