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半導体向UHP-PFAテフロン製熱交換器


特長

半導体向UHP-PFAテフロン製熱交換器

半導体向UHP-PFA熱交換器は超高純度のテフロン®UHP-PFAチューブで作られている浸漬型熱交換器です。 用途は厳しい純度を要される半導体製造エッチング液などの加熱・冷却に適しています。 配管接続は溶接接合、ネジ接合、フレア接合の3種類があります。

・溶接接合はOリングを使用していないため、組立時の部品数が少なくなります。
・ネジ接合は、Oリングと締付ナットでシールされています。


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  • フレア接合
    フレア接合


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